Nogulsnēšanās
Gūstiet ieskatu un paātriniet izstrādes procesu.
Advanced Energy nodrošina barošanas un vadības risinājumus kritiskām plānās kārtiņas uzklāšanas programmām un ierīču ģeometrijām.Lai atrisinātu vafeļu apstrādes problēmas, mūsu precīzās jaudas pārveidošanas risinājumi ļauj optimizēt jaudas precizitāti, precizitāti, ātrumu un procesa atkārtojamību.
Mēs piedāvājam plašu RF frekvenču klāstu, līdzstrāvas barošanas sistēmas, pielāgotus jaudas izvades līmeņus, saskaņošanas tehnoloģijas un optiskās šķiedras temperatūras uzraudzības risinājumus, kas patiesi ļauj labāk kontrolēt procesa plazmu.Mēs arī integrējam Fast DAQ™ un mūsu datu iegūšanas un pieejamības komplektu, lai sniegtu ieskatu procesā un paātrinātu izstrādes procesu.
Uzziniet vairāk par mūsu pusvadītāju ražošanas procesiem, lai atrastu savām vajadzībām atbilstošu risinājumu.
Jūsu izaicinājums
No plēvēm, ko izmanto integrālās shēmas izmēru modelēšanai, vadošām un izolējošām plēvēm (elektriskajām konstrukcijām) un metāla plēvēm (savienojumiem), jūsu uzklāšanas procesiem ir nepieciešama atomu līmeņa kontrole — ne tikai katrai funkcijai, bet visā plāksnē.
Papildus pašai struktūrai jūsu noguldītajām plēvēm jābūt augstas kvalitātes.Tiem jābūt ar vēlamo graudu struktūru, viendabīgumu un konformisku biezumu, un tiem jābūt bez tukšumiem — un tas ir papildus nepieciešamo mehānisko spriegumu (spiedes un stiepes) un elektrisko īpašību nodrošināšanai.
Sarežģītība tikai turpina pieaugt.Lai novērstu litogrāfijas ierobežojumus (mezgli, kas mazāki par 1 nm), pašizlīdzinātām dubultās un četrkāršās rakstīšanas metodēm ir nepieciešams jūsu uzklāšanas process, lai izveidotu un reproducētu rakstu uz katras plāksnītes.
Mūsu risinājums
Kad izvietojat vissvarīgākās nogulsnēšanas lietojumprogrammas un ierīču ģeometrijas, jums ir nepieciešams uzticams tirgus līderis.
Advanced Energy RF jaudas piegāde un ātrgaitas saskaņošanas tehnoloģija ļauj pielāgot un optimizēt jaudas precizitāti, precizitāti, ātrumu un procesa atkārtojamību, kas nepieciešama visiem uzlabotajiem PECVD un PEALD nogulsnēšanas procesiem.
Izmantojiet mūsu līdzstrāvas ģeneratora tehnoloģiju, lai precīzi noregulētu savu konfigurējamo loka reakciju, jaudas precizitāti, ātrumu un procesa atkārtojamību, kas nepieciešami PVD (izputināšanas) un ECD uzklāšanas procesiem.
Ieguvumi
● Uzlabota plazmas stabilitāte un procesa atkārtojamība palielina ražu
● Precīza RF un līdzstrāvas piegāde ar pilnu digitālo vadību palīdz optimizēt procesa efektivitāti
● Ātra reakcija uz plazmas izmaiņām un loka vadība
● Daudzlīmeņu pulsēšana ar adaptīvo frekvences regulēšanu uzlabo kodināšanas ātruma selektivitāti
● Pieejams globāls atbalsts, lai nodrošinātu maksimālu darbības laiku un produkta veiktspēju