RHH sērijas RF barošanas avots

RHH sērijas RF barošanas avota piedāvātais attēls

Īss apraksts:

RHH sērijas RF barošanas bloks izmanto nobriedušu RF ģenerēšanas tehnoloģiju, lai nodrošinātu klientus ar RF barošanas bloku ar lielāku jaudu, augstāku precizitāti un ātru reaģēšanas ātrumu. Ar fāzes iestatīšanu, impulsu vadību, digitālo regulēšanu un citām funkcijām. Pielietojamās jomas: fotoelektriskā rūpniecība, plakano paneļu displeju rūpniecība, pusvadītāju rūpniecība, ķīmiskā rūpniecība, laboratorijas, zinātniskā pētniecība, ražošana utt.
Pielietojamie procesi: plazmas pastiprināta ķīmiskā tvaiku uzklāšana (PECVD), plazmas kodināšana, plazmas tīrīšana, radiofrekvences jonu avots, plazmas difūzija, plazmas polimerizācijas izsmidzināšana, reaktīvā izsmidzināšana utt.

Produkta informācija

Produkta tagi

Sūtiet mums e-pastu

Funkcijas

● Pusķieģeļu un plauktu montāžas stili
● Pieņemt pilnīgu digitālo vadību ar ērtu un bagātīgu darbības izvēlni
● Frekvences regulēšanas, impulsa un impulsa sinhronizācijas funkcijas
● Ar CEX fāzes sinhronizācijas funkciju
● Perfekta aizsardzības funkcija

Produkta informācija

Ievade	Ieejas spriegums: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (var pielāgot īpašas specifikācijas)
Ievade	Ieejas frekvence: 47~63Hz
Izvade	Izejas frekvence: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Skaņošanas diapazons: ±5%
	Izejas jauda: 1,5~5 kW
	Izejas jaudas regulēšanas diapazons: 1~100%
	Izejas pretestība: 50Ω+j0
	Izejas saskarne: N tips
	Izejas režīms: nepārtraukts, impulss
	Impulsa frekvence: 100 Hz ~ 100 kHz
	Darba cikls: 5~95%
Veiktspējas indekss	Jaudas koeficients: 0,98
	Frekvences stabilitātes precizitāte: ±0,005%
	Efektivitāte: 75% (pie nominālās jaudas)
	Harmonisks: <-45dBc
	Klaiņojošs: <-50dBc
	Ārējā vadības saskarne: analogais daudzums, komunikācija un sinhronizācija
	Komunikācijas režīms: standarta RS485 komunikācijas saskarne; pēc izvēles Ether CAT, rūpnieciskais Ethernet utt.
Piezīme: produkts turpina tikt ieviests jauninājumos un tā veiktspēja turpina uzlaboties. Šis parametru apraksts ir paredzēts tikai uzziņai.