MSB sērijas vidējas frekvences izsmidzināšanas barošanas avots
-
MSB sērijas vidējas frekvences izsmidzināšanas barošanas avots
RHH sērijas RF barošanas bloks izmanto nobriedušu RF ģenerēšanas tehnoloģiju, lai nodrošinātu klientus ar RF barošanas bloku ar lielāku jaudu, augstāku precizitāti un ātru reaģēšanas ātrumu. Ar fāzes iestatīšanu, impulsu vadību, digitālo regulēšanu un citām funkcijām. Pielietojamās jomas: fotoelektriskā rūpniecība, plakano paneļu displeju rūpniecība, pusvadītāju rūpniecība, ķīmiskā rūpniecība, laboratorijas, zinātniskā pētniecība, ražošana utt.
Pielietojamie procesi: plazmas pastiprināta ķīmiskā tvaiku uzklāšana (PECVD), plazmas kodināšana, plazmas tīrīšana, radiofrekvences jonu avots, plazmas difūzija, plazmas polimerizācijas izsmidzināšana, reaktīvā izsmidzināšana utt.